张文明站在宽敞的工厂中,他的目光紧紧锁定着从烤箱中缓缓升起的氧化硅晶圆
接下来就是进入下一个环节,涂胶
一张张硅晶圆会被送进专涂胶的设备涂胶机当中,机器当中有一个能旋转的吸盘,当第一张硅晶圆送入涂胶机那吸盘上后,文明已经设置好了机器的参数
毕竟这是第一张硅晶圆,得认真对待,才能保证后面的硅晶圆都能顺利的经过这些流程
机器上方的一个喷嘴,朝硅晶圆中心吐出了一滴透明且粘稠的液体
随后吸盘开始旋转,在离心力的作用下,液体被甩了出去,朝晶圆四周均匀的蔓延开来
后续的硅晶圆也同样如此,接下来便是下一个环节,也就是光刻! 十字线处理器将晶圆送入EUV光刻机当中,从中射出的极紫外线经过透镜的一系列反射聚焦把光掩膜板上的图像打